[23a-A307-1~5] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[23a-A307-3] 深振動マグネトロンスパッタリングのパルス設計とプラズマ発光分光計測

〇横山 英佐¹、永井 友樹¹、筒井 海太¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：パルススパッタリング、発光分光分析、深振動マグネトロンスパッタリング

櫛型の放電波形を用いた深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）は、ミリ秒におよぶロングパルスに対して優れたアークフリー特性を持つ高出力パルスマグネトロンスパッタリングである。しかし、従来のDOMSではマイクロパルスの1本目の放電に対して2本目以降でスパッタ金属粒子イオンの生成量が急激に低下してしまう。本研究では、マイクロパルスのOn / Off時間の調整による放電プラズマ内の高いイオン化率の維持について検討した。