[23a-C101-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23a-C101-4] 真空蒸着法により作製したBaSi₂膜におけるクラックの低減および厚膜化の試み

〇西野 克志¹、森 俊之輔¹、山下 颯乃佳¹、于 京芳¹ (1.徳島大理工)

キーワード：BaSi2、真空蒸着法