[23a-C102-1~8] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[23a-C102-6] Finite Element Method Simulation on Optimization of Film Thickness for Double-cavities Planar-type Thermoelectric Generator

〇Ryoto Yanagisawa¹, Masahiro Nomura¹ (1.IIS Univ. of Tokyo)

Keywords:thermoelectrics, silicon, phonon

平面型シリコン熱電発電素子の開発に向けて、デバイス層のシリコン膜厚に依存する熱伝導率の変化を用いて有限要素法によるデバイスシミュレーションを行った。デバイス層の熱伝導率が低減するほど発電量密度が高くなり、また熱伝導率の膜厚依存性が小さいほど発電量を最大化する膜厚が厚い領域に遷移する結果を得た。