[23a-C102-1~8] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[23a-C102-7] Improved Output Power by Thinner Substrates in Cavity-free Multi-stage Micro Thermoelectric Generator

〇Shuhei Arai¹, Tsubasa Kashizaki¹, Takumi Hoshina¹, Motohiro Tomita¹, Takeo Matsuki^1,2, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:Thermoelectric generator, Silicon wire, Thermal resistance

Si基板上に作製される Siナノワイヤを利用したキャビティ・フリー熱電発電デバイスは、単段ではSi基板の寄生熱抵抗が発電性能に影響を与え、多段では配線方式の違いにより発電性能が異なる事が明らかにされている。本研究によりSi基板を薄層化すると多段デバイスでも、発電性能は向上し、特に熱漏れの無いバイレグに優位性がある事が確認された。この結果は多段デバイスの特性を含めた発電性能の向上の指針となるものである。