11:30 〜 11:45 [23a-C102-7] キャビティ・フリー多段マイクロ熱電発電デバイスの基板薄層化による出力向上 〇新井 崇平1、柏崎 翼1、保科 拓海1、富田 基裕1、松木 武雄1,2、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.産総研)