[23a-C200-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23a-C200-7] InGaN-MQWメソポーラスメンブレンの発光特性解析

〇倉邉 海史¹、山崎 裕貴¹、米田 幸司¹、菊池 昭彦^1,2,3 (1.上智大理工、2.上智大フォトニクス研究センター、3.上智大学半導体研究所)

キーワード：窒化物、窒化ガリウム

マイクロ LEDディスプレイ技術が大きな関心を集めているが、技術基盤である一辺100μm以下の微小LEDにおける発光効率の低下が課題となっている。我々は、微小LEDの性能向上が期待される構造としてInGaN/GaNポーラスメンブレン構造を提案し、高い発光増強の観測と増強機構の検討を報告した。今回、増強機構のより高度な解明を目指して、三次元FDTDによる解析精度の向上、発光体積の減少等を考慮し、発光増強機構を定量的に解明したので報告する。