[23a-P03-1~4] 7 ビーム応用(ポスター)

[23a-P03-2] ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成

〇(M1)島田 侑果¹、前田 優斗¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、吉本 護¹、松田 晃史¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：ナノインプリント、フレキシブルデバイス、周期構造パターン

ポリマーを用いたフレキシブルで微細なデバイスの発展には、ポリマー基板のナノパターン化と同時に表面へのナノ構造形成が求められる。本研究では、超平坦ステップサファイアモールド及び自己組織化NiOナノ溝モールドを用いて、熱ナノインプリントにより原子ステップ構造およびナノウォール構造を持ったPI基板を作成した。さらに、ナノウォールPI基板にAuをスパッタ堆積し、微細パターンを維持、反映した形状を得ることができた。