[23a-P03-1~4] 7 Beam Technology and Nanofabrication(Poster)

[23a-P03-2] Periodic patterning of thin films on polymer substrates by using nanoimprinting

〇(M1)Yuka Shimada¹, Yuto Maeda¹, Tomoaki Oga¹, Satoru Kaneko^2,1, Mamoru Yoshimoto¹, Akifumi Matsuda¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:nanoimprint, flexible device, periodic structure pattern

ポリマーを用いたフレキシブルで微細なデバイスの発展には、ポリマー基板のナノパターン化と同時に表面へのナノ構造形成が求められる。本研究では、超平坦ステップサファイアモールド及び自己組織化NiOナノ溝モールドを用いて、熱ナノインプリントにより原子ステップ構造およびナノウォール構造を持ったPI基板を作成した。さらに、ナノウォールPI基板にAuをスパッタ堆積し、微細パターンを維持、反映した形状を得ることができた。