[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-12] 岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛薄膜の真空紫外領域での光電流スペクトル

〇日下 皓也¹、高坂 亘¹、小川 広太郎^2,1、金子 健太郎³、山口 智広¹、本田 徹¹、藤田 静雄³、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大学、2.オーク製作所、3.京大院工)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、真空紫外線、光電流

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-MgZnO)は真空・深紫外域で発光する半導体材料として期待される。一般に透過測定から吸収端エネルギーが決定されるが、波長190 nm以下にはMgO基板による吸収が現れ、透過測定が困難となる。そこで本研究ではRS-MgZnOの光電流スペクトル測定を行い、VUV域での光学遷移特性を評価した。