[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-17] 固相結晶化シード層上へのZnO:Al透明導電膜のスパッタリング成膜：固相結晶化温度の影響

〇沈 志遠¹、薮田 久人²、山下 尚人¹、鎌滝 晋礼¹、奥村 賢直¹、古閑 一憲^1,3、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シ情、2.九大CPNE、3.自然科学研究機構)

キーワード：固相結晶化、ZnO、ZnON