[23p-A202-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

△ [23p-A202-3] (100)ダイヤモンド基板に形成した{111}面逆ピラミッド型構造内の高配向NV中心層の成長メカニズム

〇(M2)及川 耀平^1,2、中野 裕太³、長井 雅嗣³、徳田 規夫³、早瀬 潤子^1,2 (1.慶大理工、2.慶大CSRN、3.金沢大)

キーワード：NVセンター、微細加工