[23p-B101-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [23p-B101-5] SnO₂単一結晶粒ナノシート分子センサ

〇(M1)壇 宏樹¹、長島 一樹^1,2、Benjarong Samransuksamer¹、細見 拓郎^1,2、高橋 綱己^1,2、田中 航¹、金井 真樹³、柳田 剛^1,3 (1.東京大工、2.JSTさきがけ、3.九大先導研)

キーワード：ナノシート

熱的・化学的安定性に優れた材料で構成される金属酸化物センサは、⻑期データ収集へ向けた堅牢な分子認識センサの最有力候補であるが、従来の金属酸化物センサではマイクロ・ナノメートルオーダーの構造制御技術と再現性が求められる集積化エレクトロニクスへの適用は困難であった。本研究では、アモルファスSnO2薄膜を低温堆積した後に高温で焼成するプロセスにより、Si基板上で再現性の高い金属酸化物薄膜センサを実現し、単一結晶粒ナノシート構造に基づく分子センシングの高性能化へ向けた設計指針の構築に成功した。得られた一連の結果は、金属酸化物センサの集積化エレクトロニクス展開へ向けた設計指針を与える重要な知見である。