[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [23p-B102-5] イオン照射角制御によるカーボンナノウォールの配向成長

〇(M2)射場 信太朗¹、近藤 博基²、石川 健治²、堤 隆嘉²、平松 美根男³、関根 誠²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター、3.名城大理工)

キーワード：カーボンナノウォール

垂直配向グラフェン材料であるカーボンナノウォール(CNWs)は電気伝導性や化学的耐久性などの特性を有し、様々なデバイス応用が期待されている。本研究では，一般には基板面内ではランダム方向に迷路状構造を形成しているCNWsを，傾斜ステージとRF基板バイアスを用いることで，一方向に配向成長させることに成功した．またCNWsの成長におけるイオン照射角とエネルギーの観点から，その配向機構を明らかにした．