[23p-C101-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23p-C101-5] 多結晶Mg₂Si組織の結晶粒成長挙動の解析

〇弟子丸 拓巳¹、山腰 健太¹、沓掛 健太朗²、小島 拓人³、梅原 翼⁴、鵜殿 治彦⁴、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.理研 AIP、3.名大院情報、4.茨城大院理工)

キーワード：シリサイド半導体