[23p-C301-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23p-C301-3] 銅/亜鉛界面へのフェムト秒レーザー照射による新奇金属合金化手法

〇河野 太洋¹、山口 誠²、岡田 達也¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大理工、2.秋田大理工)

キーワード：金属、フェムト秒レーザ―、合金

フェムト秒レーザー照射を新奇金属合金化手法に応用する可能性を研究した。透明材料であるシリコンカーバイド(SiC)上に、亜鉛/銅を積層し、亜鉛/ SiC界面に対して、フェムト秒レーザー光を照射した。フェムト秒レーザー照射部断面に対して、走査透過電子顕微鏡でエネルギー分散型X線分光分析を行った。ここで、亜鉛原子と銅原子が原子オーダーで混在化されるか調査し、フェムト秒レーザー照射による合金生成を研究した。