[23p-C301-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23p-C301-6] ２光子造形モールドを用いた透明フッ素樹脂材料CYTOPの３次元造形

〇小幡 孝太郎¹、半澤 未来^1,2、尾笹 一成¹、花田 修賢³、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.弘前大理工)

キーワード：フェムト秒レーザー、２光子造形、CYTOP

透明フッ素樹脂材料CYTOP（AGC株式会社）は、紫外域での高い透過性に優れ、耐薬品性、撥水性などの特徴を有する機能性材料である。また屈折率（1.34）が水（1.33）に近く、生体物質の高解像度観察用基板としても期待されている。しかし、その優れた材料特性のため、微細加工が困難な材料となっている。本発表では、フェムト秒レーザーによる光造形によって作製した３次元構造体をモールドとして用いることにより、CYTOPの三次元造形法を開発したので報告する。