一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年3月24日(木) 09:00 〜 12:30 E103 (E103)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇浜本 毅司1、佐藤 和重2、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
いいね！
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09:15 〜 09:30
〇加瀬 雅1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
スケジュール
いいね！
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09:30 〜 09:45
〇中道 修平1、小粥 敬成1、三浦 典子1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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09:45 〜 10:00
〇渡辺 幸志1、根本 一正1、居村 史人1、三浦 典子2、谷島 孝1、野田 周一1、梅澤 仁1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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10:00 〜 10:15
〇田中 宏幸1、李 相錫2、野沢 善幸3、速水 利泰3、クンプアン ソマワン1,4、原 史朗1,4 (1.産総研、2.鳥取大学、3.SPPテクノロジーズ、4.ミニマルファブ推進機構)
スケジュール
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10:15 〜 10:30
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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10:30 〜 10:45
〇谷島 孝1、居村 史人1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
スケジュール
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11:00 〜 11:15
〇居村 史人1、田中 宏幸1、大澤 孝治2、髙野 拓郎2、鐘堂 健三2、寺澤 靖雄2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.ニデック、3.ミニマルファブ)
スケジュール
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11:15 〜 11:30
〇居村 史人1、田中 宏幸1、大澤 孝治2、髙野 拓郎2、鐘堂 健三2、寺澤 靖雄2、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.ニデック、3.ミニマルファブ)
スケジュール
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11:30 〜 11:45
〇釜崎 佳代1、井関 伸至1、居村 史人2、田中 宏幸2、大澤 孝治3、髙野 拓郎3、鐘堂 健三3、寺澤 靖雄3、クンプアン ソマワン2,4、原 史朗2,4 (1.熊本防錆工業、2.産総研、3.ニデック、4.ミニマルファブ)
スケジュール
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11:45 〜 12:00
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、濱田 健吾1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)
スケジュール
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12:00 〜 12:15
〇根本 一正1、谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
スケジュール
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12:15 〜 12:30
〇三浦 典子1,2、加瀬 雅3、相澤 洸2,4、野川 満徳2、大西 康弘2、石島 達夫4、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.米倉製作所、3.産総研、4.金沢大学)
スケジュール
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