一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2022年3月25日(金) 09:00 〜 12:00 E104 (E104)
深沢 正永(ソニーセミコンダクタソリューションズ)、本田 昌伸(東京エレクトロン宮城)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇布村 正太1、坂田 功1 (1.産総研)
スケジュール
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09:15 〜 09:30
〇郷矢 崇浩1、久山 智弘1,2、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.学振特別研究員 DC)
スケジュール
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09:30 〜 09:45
〇戸田 晋太郎1、野末 竜弘1、神崎 伯夫2、宮永 和恒2、寺島 雅弘3、飯田 真一3、藤原 康文2 (1.アルバック協働研、2.阪大院工、3.アルバック・ファイ)
スケジュール
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09:45 〜 10:00
〇南 吏玖1、中村 昭平1,2、谷出 敦2、石川 健治1、堤 隆嘉1、近藤 博基1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名大、2.(株)SCREENホールディングス)
スケジュール
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10:00 〜 10:15
〇中村 昭平1,2、谷出 敦1,2、木村 貴弘1、灘原 壮一1,2、石川 健治2、小田 修2、堀 勝2 (1.SCREENホールディングス、2.名古屋大学)
スケジュール
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10:30 〜 10:45
〇(P)ErinJoy Capdos Tinacba1、Satoshi Hamaguchi1 (1.Osaka University)
スケジュール
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10:45 〜 11:00
〇吉江 泰斗1、堤 隆嘉1、石川 健治1、近藤 博基1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学)
スケジュール
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11:00 〜 11:15
〇(M1)関 悠斗1、加藤 閣人1、久保井 宗一1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
スケジュール
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11:15 〜 11:30
〇市川 景太1、鈴木 陽香1、豊田 浩孝1,2 (1.名古屋大工、2.核融合研)
スケジュール
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11:30 〜 12:00
〇大村 光広1、橋本 惇一1、足立 昂拓1、近藤 祐介1、石川 勝朗1、阿部 淳子1、酒井 伊都子1、林 久貴1、関根 誠2、堀 勝2 (1.キオクシア、2.名大工)
スケジュール
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