[22a-D215-1~9] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[22a-D215-5] 相変化材料を用いた光スイッチ動作の連成物理シミュレーション

〇佐野 陽之¹、桑原 正史² (1.石川高専、2.産総研)

キーワード：光スイッチ、相変化、GST

相変化光スイッチの挙動を理解するため、リアルな相変化モデルを含む総合的な連成物理シミュレーションシステムを開発した。そして、ITOヒーター層から発生するジュール熱を用いてGST（Ge₂Sb₂Te₅）の相変化を制御する過程を解析した。アモルファスGSTを形成するための融解後の急冷過程において、GST層の一部で再結晶化が起こり、光スイッチON状態の透過率を下げてしまうことが分かった。