[22a-E101-1~4] 応用物理におけるインフォマティクス応用の最前線

[22a-E101-3] 暗黙知によるプロセス最適化手法の開発（SiC結晶成長プロセスを例に）

〇宇治原 徹^1,2 (1.名大未来研、2.産総研GaN-OIL)

キーワード：プロセス・インフォマティクス、半導体、SiC

プロセス・インフォマティクスには，大きく分けて二つのアプローチがある．一つは，実験や製造などにおけるプロセスデータを取得し，そのデータを分析する手法である．最適プロセス条件などを得る場合は，プロセスデータを分析することで，ベイズ最適化などの手法によって効率よくその条件を見出すことができる．もう一つは，コンピュータ内に実際の現象を模倣する，いわば代理モデル（サロゲートモデル）を構築し，それを用いて最適化する手法である。我々の結晶成長の最適化はこの後者の方法を用いて行っている．具体的には，結晶成長のシミュレーションによりデータを生成し，機械学習を用いて，高速で正確にシミュレーション結果を再現するモデルを構築する．このモデルを用いて，何百万回，何千万回の実験を計算機上で行い，それにより最適解を求める。