[22a-E105-1~7] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[22a-E105-1] Control Hydrophobicity by Controlled Quartz Nanopillar Structures

〇(M2)Sou Takeuchi¹, Daisuke Ohori¹, Teruhisa Ishida², Mami Tanaka², Kazuhiko Endo³, Seiji Samukawa^1,4 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NAGASE & CO., LTD., 3.AIST, 4.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:Hydrophobicity, Quartz nanopillar structure, Neutral beam etching

親水表面は表面微細構造を用いることで撥水効果を発現できる。石英上にナノピラー(NP)構造を作製することで、100度を超える接触角を示した。しかし浅い石英NPでは摩耗に弱いことが懸念された。そこで本研究では、バイオテンプレート極限加工技術を用いて高い石英NP構造を作製し接触角へ与える影響を明らかにした。結果、石英NPを高くすることで接触角が増加し摩耗への耐久性も保ち、摩耗されても撥水性を保てることが示唆された。