[22a-E203-1~11] 17.3 層状物質

[22a-E203-4] hBN/MoS₂積層構造を利用したナノ機械共振器の電気機械特性

〇千葉 カルビン 健人¹、澤野 憲太郎¹、渡邊 賢司²、谷口 尚²、藤田 博之¹、星 裕介¹ (1.都市大、2.物材機構)

キーワード：原子層材料、ナノ機械共振器

原子層材料であるMoS₂は、その優れた電気的・機械的特性により、ナノ機械共振器への応用が期待されている。特に単層の場合、圧電効果が生じると報告されている。一方、hBNとの積層構造を利用する事で、電気機械特性の性能向上に高いポテンシャルがあると期待される。本研究では、hBN/MoS₂積層構造を利用したナノ機械共振器を作製し、圧電効果による共振周波数検出に成功した。