[22a-E203-1~11] 17.3 層状物質

[22a-E203-5] アルコール流体存在下におけるMoS₂-FETの電気特性

〇高岡 毅¹、高橋 巧成²、和泉 廣樹²、Uddin Nasir²、道祖尾 恭之¹、安藤 淳³、米田 忠弘¹ (1.東北大多元研、2.東北大院理、3.産総研)

キーワード：層状物質、二硫化モリブデン、電界効果トランジスタ

層状物質である二硫化モリブデン(MoS₂) は、簡便な方法で原子層数層からなる極薄膜を得ることが出来る。MoS₂極薄膜は比表面積が大きく、電子物性が表面状態に非常に敏感であるため、微量の対象分子を高い精度で検出できるセンサデバイス材料として注目されている。本研究では、MoS₂をチャンネル材料として用いた電界効果トランジスタ（FET）がアルコール流体と接したときの電気特性の変化を調べた。