[22a-E303-1~9] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

[22a-E303-3] Optical frequency comb generator fabricated by low-temperature process using ECR-PECVD method

〇Takuma Aihara¹, Tatsurou Hiraki¹, Hidetaka Nishi¹, Tai Tsuchizawa¹, Shinji Matsuo¹ (1.NTT Dev. Tech. Labs)

Keywords:SiN, Optical frequency comb, ring resonator

SiNは、低損失、広い透過波長域、CMOS互換性などの特長から様々な光デバイスで使われる材料である。我々は、このSiNとSi、InP、LiNbO₃などの異種材料を組み合わせた高性能・多機能な光集積プラットフォームの実現を目指している。特に我々は、近年研究が活発化している光周波数コム発生器のSiプラットフォーム上集積を検討している。本研究では、ECR-PECVD(Electron cyclotron resonance-plasma enhanced chemical vapor deposition)法を用いて低温プロセスによりSiNリング共振器を作製した。作製したリング共振器を用いて光周波数コムの発生を実証した。本結果は、Siプラットフォーム上への光周波数コム発生器集積の実現可能性を示すものである。