[22a-P01-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[22a-P01-10] 酸素プラズマ照射によるポジ型電子線レジストSML の増感効果

〇藤本 美穂¹、松谷 晃宏¹ (1.東工大OFC)

キーワード：電子線リソグラフィ、プラズマ、SML

ポジ型電子線レジストSMLは現像やベーク等、従来型のPMMAと類似のプロセスパラメーターを持ち、解像度は同等以上と報告されている。一方で、感度はZEP520Aレジストと比較して5分の1程度と非常に低いことが報告されている。本報告ではSMLの感度の上昇のため、露光前のSMLレジスト表面に酸素プラズマ処理をして、その増感効果の有無を検証した。