[22a-P01-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[22a-P01-9] ポリイミドシート上へスパッタ成膜したCr/Ge電極の固体ソースH₂Oプラズマを用いた前処理による低抵抗化

〇遠西 美重¹、佐藤 美那¹、松下 祥子²、松谷 晃宏¹ (1.東工大OFC、2.東工大物質理工)

キーワード：H2Oプラズマ処理、ポリイミド電極

ポリイミドなどの樹脂表面に金属薄膜を成膜して作られたフレキシブル電極には、低抵抗と電極金属と樹脂表面の良好な密着性が求められる。これまで、固体ソースH₂Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ表面上に成膜したCr/Cuのシート抵抗と折り曲げに対する耐久性に良好な結果が得られ、金属成膜前のH₂Oプラズマを用いた表面処理が、ポリイミドとの密着性に効果があることを報告した。今回は、ポリイミドシート上にスパッタ成膜したCr/Ge電極の抵抗を測定し、成膜前の固体ソースH₂Oプラズマを用いた表面処理が低抵抗化に有効との知見が得られたので報告する。