[22p-D316-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

[22p-D316-11] 面発光型量子カスケードレーザの高出力化に向けた素子構造検討

〇橋本 玲¹、角野 努¹、金子 桂¹、斎藤 真司¹、谷村 景貴²、高木 茂行²、姚 遠昭³、池田 直樹³、杉本 善正³、間野 高明³、黒田 隆³、迫田 和彰³ (1.東芝　CMC、2.東京工科大、3.NIMS)

キーワード：量子カスケードレーザ、面発光、フォトニック結晶

量子カスケードレーザ(QCL)は赤外域の小型光源としてガスセンシングや医療応用への適用が期待されており、我々はフォトニック結晶（PC）を利用することで量産性やモード制御性に優れる面発光型QCLの高出力化に向けた開発を進めている。素子の放熱性向上検討として、端面共振器型QCLとPCを含むメサ構造をモノリシックに連結した素子について評価した内容を報告する。