[22p-E105-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[22p-E105-12] 光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(1)

〇鎌滝 晋礼¹、奥永 冴京¹、佐藤 斗真¹、富田 健太郎²、Pan Yiming³、山下 大輔¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,4、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.北大院工、3.九大総理工、4.自然科学研究機構)

キーワード：電場計測、光ピンセット、プラズマプロセス

本研究では, 光ピンセット法によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測の開発を試みてきている．プラズマ中の光捕捉された微粒子を用いた電場及び電場揺動計測に関する研究はほとんどない. そのために, 本稿ではプラズマ中の光捕捉された微粒子を用いた電場及び電場揺動計測について報告する.