[22p-E105-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

[22p-E105-15] Low RF Power Test for Steady State High Density Helicon Plasma Source with Flat Loop Antennas

〇(M1)Takumi Seto¹, Ayane Kondo¹, Naomichi Ezumi¹, Mafumi Hirata¹, Satoshi Togo¹, Mizuki Sakamoto¹, Takeru Furukawa², Shunjiro Shinohara³ (1.Plasma Research Center, Univ. Tsukuba, 2.Kobe Univ., 3.Tokyo Univ. of Agriculture and Technology)

Keywords:production and control of RF plasmas, Helicon plasma

ヘリコン波プラズマ源は高密度プラズマ生成が可能であり、プロセス装置、スラスターや核融合基礎研究に応用されている。一方で大口径化・高効率化、安定した定常放電の維持等の課題がある。そこで電界分布を制御可能なフラットループアンテナ、強力な水冷システムを新たに開発し、30 kW RF電源を用いた大口径定常高密度プラズマ生成の実現を目指している。講演ではその初期結果として、低電力放電試験の結果について報告する。