2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-E202-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月22日(火) 13:30 〜 18:15 E202 (E202)

小林 篤(東大)、正直 花奈子(三重大)、上杉 謙次郎(三重大)

16:00 〜 16:15

[22p-E202-9] 巨大障壁を持つp型GaNショットキーバリアダイオード

〇青山 航平1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東京大学生産技術研究所)

キーワード:GaN、スパッタリング、ショットキーバリアダイオード