[22p-E302-1~15] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[22p-E302-10] 875 MW/cm² 2568 V 0.68A/mm NO₂ドープダイヤモンドMOSFET

サハ ニロイ　チャンドラ¹、金 聖祐²、大石 敏之¹、〇嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.アダマンド並木精密宝石(株))

キーワード：ダイヤモンド、FET

NO2ドープダイヤモンドMOSFETで、高出力電力(875 MW/cm²)、高電圧(2568 V)を達成した。