[22p-E307-1~14] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[22p-E307-3] 層状薄膜構造を有する静電容量型圧力センサの設計

〇岡田 慧¹、堀井 辰衛¹、藤枝 俊宣¹ (1.東工大生命理工)

キーワード：生体貼付型センサ、誘電エラストマー、柔軟性デバイス

脈拍や接触時に生じる生体組織の微小な変位量の測定は、ヘルスケアへの応用において重要である。微小変位の測定には、身体動作に追従できる柔軟な生体貼付型センサが求められる。静電容量型圧力センサは非温度依存性・高応答性という特徴を持ち、誘電層を二枚の電極層で挟んだ構造を有する。本研究では、Ecoflexを誘電層、Cr/Auスパッタ処理したポリイミドフィルムを電極層とした圧力センサの印加変位量に対する静電容量変化を評価した。