2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

7 ビーム応用 » 7 ビーム応用(ポスター)

[22p-P04-1~4] 7 ビーム応用(ポスター)

2022年3月22日(火) 16:00 〜 18:00 P04 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[22p-P04-1] 二軸傾斜を備えたTEMホルダー開発とSiナノインデンテーション観察

〇陳 桐民1、大島 義文1 (1.先端大学)

キーワード:二軸傾斜ホルダー