[22p-P04-1~4] 7 Beam Technology and Nanofabrication(Poster)

[22p-P04-4] Guiding a 15 keV Ar⁶⁺ ion beam by a cylindrical glass channel

〇Ryohei Takahashi¹, Yuya Kazamatsuri², Tomoaki Seki², Kenji Motohashi^1,2 (1.Toyo Univ. Grad. Sch. of Engi. and Sci., 2.Toyo Univ. Sch. of Engi. and Sci.)

Keywords:multivalent ion, ion beam guide

低速多価イオンが絶縁体流路を衝突せずに進行するガイド効果の詳細を調べるため、独自に開発した円筒面ガラスチャネルを使用し、15 keVのAr⁶⁺イオンビームを入射したときの出射粒子の価数と運動エネルギーを測定した。その結果、入射ビーム軸に対し-2°から+3°の範囲のチルト角において、多くの出射粒子が入射時の価数と運動エネルギーを保持していた。さらに最大で0.18°の偏向を確認した。