[22p-P04-1~4] 7 Beam Technology and Nanofabrication(Poster)

[22p-P04-3] Low energy molecular ion beam extraction from duoplasmatron source

〇Yusaku Ota¹, Hajime Aki¹, Naoki Miyamoto¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha Univ.)

Keywords:CMOS image sensor, Molecular Ion Extraction

多孔型中間電極を用いてデュオプラズマトロン型イオン源からの分子イオン引き出しというテーマで研究をしています。アルゴンガス、水素ガス、ネオンガスなど供給するガス種による放電特性、イオンビーム電流量を比較していきます。