[23a-E102-1~8] FS.1 Focused Session "AI Electronics"

[23a-E102-7] Development of an Ising Mapping Method to Apply Annealing Machine for Optimizing High-dimensional Recipe in Manufacturing Tool

〇Takeshi Ohmori¹, Nakada Hyakka² (1.Hitachi R&D, 2.Recruit Data M&P)

Keywords:annealing machine, optimization, manufacturing tool

高次元化している製造装置のレシピ(入力条件)最適化のため、機械学習の回帰を用いた最適化技術を開発している。この最適化を効率化する方法として、アニーリングマシンによる回帰の大局解探索が挙げられるが、この方法では、前述した回帰で必要となる3次以上の非線形性の扱いが困難である。その解決のため、任意の非線形性を記述できるカーネル回帰をイジングモデルに自動変換する内積バイナリ化法を開発し、性能評価を行った。