[23a-E202-1~10] 15.4 III-V-group nitride crystals

[23a-E202-3] Development of flexible MicroLED array film
widely covering and adhering to brain regions for small animals

〇Taiki Kitade¹, Hayate Matsuhira¹, Ryota Kanda¹, Atsushi Nishikawa², Alexander Loesing², Susumu Setogawa³, Noriaki Ohkawa³, Hiroto Sekiguchi^1,4 (1.Toyohashi Tech, 2.ALLOS, 3.Dokkyo. Med. Univ., 4.JST PRESTO)

Keywords:flexible MicroLED, transfer technology, hollow structure

脳に密着可能であり、広範囲を制御可能領域としてカバーしつつ極局所を標的とした生体光刺激も可能とするマイクロLEDアレイフィルムを開発した。まず、KOH溶液による異方性ウェットエッチング技術を採用することで、中空構造をもつμLEDアレイが作製できた。また、転写技術によりフレキシブルシート上にμLEDアレイを作製した後、金属配線を行い、フレキシブルμLEDフィルムが実現された。転写前後で特性劣化のない明瞭な整流性が確認された。