[23a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23a-E202-3] 脳に密着可能な広域脳領域を標的とするフレキシブルμLEDの開発

〇北出 泰己¹、松平 颯¹、神田 稜太¹、西川 敦²、Alexander Loesing²、瀬戸川 将³、大川 宜昭³、関口 寛人^1,4 (1.豊技大、2.ALLOS、3.獨協医大、4.JST　さきがけ)

キーワード：フレキシブルμLED、転写技術、中空構造

脳に密着可能であり、広範囲を制御可能領域としてカバーしつつ極局所を標的とした生体光刺激も可能とするマイクロLEDアレイフィルムを開発した。まず、KOH溶液による異方性ウェットエッチング技術を採用することで、中空構造をもつμLEDアレイが作製できた。また、転写技術によりフレキシブルシート上にμLEDアレイを作製した後、金属配線を行い、フレキシブルμLEDフィルムが実現された。転写前後で特性劣化のない明瞭な整流性が確認された。