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[23a-E202-7] マイクロLEDディスプレイのアクティブマトリクス用HEMT
キーワード:Ⅲ族窒化物半導体、マイクロLED、HEMT
アクティブ動作のマイクロLEDディスプレイにはLEDを発光させるドライバが必要である。Ⅲ族窒化物半導体はLEDとともに高電子移動度トランジスタも同時に作成可能である。そこで我々は再成長を行わずに一回でLEDとHEMTを集積化することを試みた。アンドープGaN上には2次元電子ガスの発生を確認し、多重量子井戸、pGaNを成長することで青色発光を観測した。HEMTを同一基板上にプロセスのみによって作成し、ノーマリオンのHEMT動作を確認した。