[23p-D113-1~19] 1.6 超音波

△ [23p-D113-15] Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄圧電単結晶上の高安定ラブ波型SH波

〇鈴木 涼人¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、木村 悟利² (1.山梨大学、2.Piezo Studio)

キーワード：Ca3TaGa3Si2O14、ラブ波型SH波、ゼロ周波数温度係数

本報告では，Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄上にAlすだれ状電極を作製し，ラブ波型SH波の温度特性を含む共振特性を実験的に評価した結果について報告する．結果として，実効的電気機械結合係数の測定値はシミュレーション値と比較して5~6割程度であった．表面集中に寄与する電極指幅の減少がこれに起因していると考えられる．20~80°Cの範囲で46 ppmの周波数変化率が得られ高安定な特性が得られた．今後は常温で頂点温度を示す条件を検討する．