[23p-D113-1~19] 1.6 超音波

[23p-D113-17] LiNbO₃/水晶接合構造のリーキーSAW三次高調波の共振特性

〇(B)森田 響生¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、水野 潤² (1.山梨大、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波、異種材料接合、三次高調波

弾性表面波(SAW)デバイスには高周波化，高Q化，広帯域化等の高性能化が要求されている．高周波化のアプローチとしてSAW高調波の利用がある．本報では，圧電性が大きいLiNbO₃薄板とQzを異種材料接合させた構造上のLSAW基本波と三次高調波の共振特性と周波数温度特性を実験的に評価した結果を報告する．三次高調波に対してLiTaO₃/Qzより約2倍の比帯域幅が得られた．