[23p-D113-1~19] 1.6 超音波

△ [23p-D113-18] 同種・異種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

〇(M1)藤井 雄大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大工)

キーワード：水晶、タンタル酸リチウム、異種材料接合

水晶同種材料接合構造上にLiTaO₃(LT)薄板を接合させた構造上における縦型リーキーSAWの伝搬、共振特性を理論的に解析した。伝搬特性では比較的厚いLT規格化板厚で低伝搬減衰を示し、水晶同種接合と比較して約8倍のK²を見出した。共振特性では接合構造において中間層に変位が集中し、基板内への漏洩成分が小さくなり広帯域化した。