[23p-D113-1~19] 1.6 Ultrasonics

△ [23p-D113-9] Detection of biomaterial interaction by reflectometry using c-axis tilted ScAlN thin film

〇Ayane Mogi^1,2, Kae Nakamura^1,2, Miho Yamasihta^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ, 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:ScAlN thin film, reflectometry

QCM法ではSauerbrey式より質量負荷効果による共振周波数の低下から生体物質の相互作用を検出する。しかし、Sauerbrey式は分子層が剛体であることが前提で、粘弾性体である場合には粘弾性による影響は正しく評価できない。界面に高分子が吸着した状態の複素音響インピーダンスを直接測定できれば、超高周波帯のQCM測定結果の解釈の一助となる。本研究ではScAlNの薄膜を用いて、音波の反射界面での生体相互作用による反射率の変化を測定した。