[23p-D316-1~17] 13.6 Nanostructures, quantum phenomena, and nano quantum devices

[23p-D316-14] Photoluminescence of Porous Silicon under Chemical Dissolution

〇Naoto Takura¹, Sakata Souki¹, Lianhua Jin¹, Bernard Gelloz² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:porous silicon, photoluminescence, Chemical Dissolution

フォトルミネセンス（PL）特性を有するポーラスシリコン（PSi）は，多孔率が高い程，ナノシリコン結晶の大きさが小さくなり，PLのピーク波長が短くなる．PSiに対してHFを使用した化学溶解を行うことで，より高い多孔率が得られる．ここでは，p，p⁺，n⁺型PSiの化学溶解中に生じるPL特性について調べたので，その結果について報告する．