[23p-D316-1~17] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[23p-D316-14] 化学溶解中におけるポーラスシリコンのフォトルミネセンス特性

〇田倉 直人¹、坂田 創輝¹、金 蓮花¹、ジェローズ ベルナール² (1.山梨大、2.名古屋大)

キーワード：ポーラスシリコン、フォトルミネセンス、化学溶解

フォトルミネセンス（PL）特性を有するポーラスシリコン（PSi）は，多孔率が高い程，ナノシリコン結晶の大きさが小さくなり，PLのピーク波長が短くなる．PSiに対してHFを使用した化学溶解を行うことで，より高い多孔率が得られる．ここでは，p，p⁺，n⁺型PSiの化学溶解中に生じるPL特性について調べたので，その結果について報告する．