[23p-E204-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23p-E204-9] ペロブスカイト／Siタンデム太陽電池応用に向けたALD-TiO₂層の評価

〇石川 亮佑^1,2、家城 大輔²、桐原 芳治³、辻口 良太³、小山 涼²、中田 和吉¹、野平 博司² (1.東京都市大総研、2.東京都市大電、3.東京都市大院理工)

キーワード：ALD、TiO2、ペロブスカイト太陽電池