2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[23p-P12-1~14] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2022年3月23日(水) 16:00 〜 18:00 P12 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[23p-P12-14] In2O3系TFTを用いたCO2ガス検知

〇野寺 歩夢1、森 峻1、大榮 海斗1、相川 慎也1 (1.工学院大)

キーワード:薄膜トランジスタ、CO2、センサ