[24a-E101-1~7] 7.1 X線技術

[24a-E101-7] 実験室EUV顕微鏡照明光学系の高照度化(2)

〇(M2)脇 俊太郎¹、津久井 雄祐¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大学院工)

キーワード：EUV、EUV顕微鏡

我々は透過型EUV顕微鏡を開発している。従来照明系は球面多層膜ミラーで構成され、球面収差により照度が低下する。本研究では、放物面ミラーでの高照度照明系の試作結果を報告する。MRF研磨で作製した2面の基板上にMo/Si多層膜を成膜し、照明系(開口数0.22, 倍率x1)を構築し、照度を評価した。その結果、照度は1.4x10⁸ Photon/mm²/pulseで、球面と比べ約20倍の照度が得られた。