[24a-E105-1~10] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [24a-E105-9] ITO薄膜チャネル溶液ゲート電界効果トランジスタによる生体分子計測に向けた電気化学的表面修飾の検討

〇(B)片山 律¹、Dong Xianqi¹、坂田 利弥¹ (1.東大院工)

キーワード：ITO、バイオセンサ、アプタマー

当研究室において、シャドーマスクを用いてITOをスパッタリングすることにより、ITOのみで構成された溶液ゲートFETを一度で作製可能であることが見出された。本研究では、半導体特性を有するITO薄膜をチャネルとし、同時に導電性ITOをソース及びドレイン電極としてワンステップで作製した溶液ゲートITO-FETの電気特性とそのバイオセンサ応用に向けたITO薄膜チャネル表面の化学修飾法について調査した。