[24a-E106-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[24a-E106-7] レーザー支援エッチングによる縦穴作製のための走査方法比較

〇(B)松田 祥吾¹、松尾 繁樹¹ (1.芝浦工業大工)

キーワード：レーザー支援エッチング

本研究ではガラスインターポーザーの作製方法としてレーザー支援エッチングに着目した。レーザー支援エッチングによる横穴加工の研究において電場方向と垂直方向の走査で高いエッチングレートが報告されている。しかし、縦穴加工の研究は少ない。そこで本研究では縦穴加工時のレーザー走査方法によるエッチングレート・選択比の違いに着目した。