[24a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[24a-E202-1] 断面・平面TEMによるNPSS上AlN厚膜の微細構造解析

〇中西 悠太¹、濱地 威明¹、中島 義賢²、林 侑介¹、藤平 哲也¹、肖 世玉³、正直 花奈子⁴、三宅 秀人^4,5、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.阪大ナノデザイン、3.三重大地創戦略企、4.三重大院工、5.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、深紫外LED、NPSS

ナノパターン加工を施したサファイア基板（NPSS）と対面式アニールを行ったスパッタ堆積AlN （FFA Sp-AlN）を組み合わせたAlNテンプレートにおいては様々な特異構造が存在する。しかし、それらの特異構造と結晶品質の関係性は不明瞭であり、結晶の作製条件最適化の障壁となっている。本研究では、2種類のNPSS上に成膜したAlNについてTEM観察による詳細な解析を行った。